استفاده از سیلیکون در تولید چیپ سنسورهای پیزومقاومتی ویژگی های خاصی را در اختیار این دسته از سنسورها قرار می دهد به دلیل ساختار تک کریستالی آن، سیلیکون هیچ تغییر شکل پلاستیکی را نشان نمی دهد و به حالت اصلی خود بعد از اعمال فشار باز می گردد. بنابراین تاثیر فرسودگی مواد و اثرات هیسترزیس از بین می رود. مقاومت نیمه رسانا که در دیافراگم سنسورهای سیلیکونی به کار رفته است به کوچک ترین فشارها حساس است و اندازه گیری محدوده های فشار در حد حتی چند میلی بار را هم ممکن می سازد.
Silicon سیلیکون
13
آبان