یون‌های موجود در آب، اتم‌ها یا مولکول‌های دارای بار الکتریکی هستند که بار منفی یا مثبت دارند. در عملیات‌هایی که از آب به عنوان تمیزکننده استفاده می‌شود، این یون‌ها ناخالصی محسوب می‌شوند و باید از آب حذف شوند.
یون‌های با بار مثبت، کاتیون و یون‌های با بار منفی آنیون نامیده می‌شوند. برای حذف کاتیون‌ها و آنیون‌های نامطلوب با هیدروژن و هیدروکسیل از رزین‌های تبادل یونی استفاده شده و آب خالص به دست می‌آید.
سازگاری آب دیونیزه شده با دیافراگم‌های با جنس‌های مختلف در جدول زیر آمده است:
| آب دیونیزه شده | |
| A | Stainless steel 303 (UNS S30300, EN 1.4305) |
| A | Stainless steel 304 (UNS S30400, EN 1.4301) |
| A | Stainless steel 316 (UNS S31600, EN 1.4401) |
| A | Stainless steel 316L (UNS S31603, EN 1.4404) |
| A | Stainless steel 630 (17-4PH, UNS S17400, EN 1.4542) |
| A | Teflon (PTFE) |
| A | Brass |
| B | Ceramic |
| A | Hastelloy B |
| A | Hastelloy C |
| A: عالی B: خوب C: ضعیف D: توصیه نمی‌شود | |